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關(guān)鍵詞：真空爐檢漏儀，真空檢漏技術(shù)，真空系統(tǒng)檢漏

  目前國內(nèi)許多生產(chǎn)電工材料的單位都擁有真空爐，這些各式各樣的真空爐都是各單位的關(guān)鍵設(shè)備，承擔(dān)著生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電工材料的重任，因此，做好真空爐檢漏工作對保證產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備正常運行有著重大的意義。

  真空爐與非真空爐的區(qū)別在于真空爐多了一套真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)是由真空泵、真空室、管道、閥門、真空計等部件所組成，真空泵通過管道、閥門等和真空室連接起來，其作用是把系統(tǒng)內(nèi)部的氣體排出到系統(tǒng)之外，從而形成真空。

  真空系統(tǒng)要達(dá)到十分嚴(yán)密，一點也不漏氣，幾乎是不可能的，只要漏氣速率降低到允許范圍之內(nèi)即可，這樣可以保證工作所需的真空度。判斷真空系統(tǒng)是否漏氣，常見的檢漏方法是氣泡法和氦質(zhì)譜檢漏法。

  氣泡檢漏法是在被檢工件內(nèi)充入一定壓力的示漏氣體，然后放入水中，如有漏孔存在，氣體會通過漏孔進(jìn)入周圍的水中形成氣泡，從而確定漏孔位置，氣泡形成的速率、大小和水的性質(zhì)相結(jié)合估算漏率。但是這種方法耗時長，需要經(jīng)驗豐富者才可操作，而且檢漏完成后需烘干，工序繁瑣，對于細(xì)微漏孔無法判斷。

  氦質(zhì)譜檢漏法。可快速、精準(zhǔn)判斷出被檢工件的漏孔大小以及泄漏值。但是氦氣不易制取，價格高，后期需更換分子泵等昂貴零部件。

  為更好的進(jìn)行真空爐檢漏，超鉅微檢真空爐檢漏儀誕生了，檢漏精度等同氦質(zhì)譜檢漏儀，使用的示蹤氣體價格是氦氣的1/15~1/20，設(shè)計獨特的快速吸槍式或感應(yīng)式探頭二種可供選擇，確保不放過任何極微小泄漏點。“超鉅微檢”真空爐檢漏儀相對于水檢、氦質(zhì)譜檢漏而言，具有自己特有的優(yōu)勢，贏得廣大客戶的喜愛。

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