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關鍵詞：腔體微漏，腔體檢漏儀，真空腔體檢漏

  真空腔體雖然不常見，但是應用范圍廣泛，適用于工業、醫藥、實驗室、化工、電子等眾多領域，并占有重要地位。如果腔體泄漏，并且無法確定泄漏位置，尤其遇上腔體微漏更是難上加上，對于這個問題該如何解決呢？

  常見的真空腔體檢漏方法有氦質譜檢漏和真空封泥檢測法。

  氦質譜檢漏。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器.，操作簡單，儀器反應靈敏，精度高，不容易受到其他氣體干擾，在真空檢漏中得到了很多應用。但是氦氣成本高，長期使用，很多中小型企業無力承擔。

  真空封泥檢測法。用真空泥封住可疑的漏點，觀察真空度的變化，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又有了明顯的下降，則說明此處泄漏，但是對于泄漏的具體位置無法精準判斷，因此，使用較少。

  超鉅科技為解決腔體微漏這一現象，自主研發生產出一款ATH-3000“超鉅微檢”腔體檢漏儀，檢測精度、響應速度等同氦質譜檢漏儀，氣體成本僅是氦氣的1/15~1/20，適用于大、中、小型企業生產廠家使用，不僅提高產品品相，而且降低使用成本。

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